반도체 리소그래피 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 반도체 제조 장비의 가동 모니터링과 분석을 하는 ‘FABSCAPE™’가 2018년 3월 발표 이후 많은 반향을 불러 2019년 1월까지 대형 반도체 제조사 7곳에서 운용을 개시 한다고 발표했습니다. FABSCAPE™는 반도체 제조 공정에 있어서 다종다양한 장치의 가동 데이터...